El caudalímetro másico térmico está diseñado sobre la base de la dispersión térmica y usa el método de temperatura diferencial constante para medir el caudal de gas. Tiene las ventajas de un tamaño pequeño, una instalación sencilla, una alta confiabilidad y una alta precisión, etc.
Este contiene dos sensores de temperatura de resistencia de platino. El principio térmico funciona monitoreando el efecto de enfriamiento de una corriente de gas a medida que pasa sobre un sensor calentado. El gas que fluye a través de la sección de detección pasa sobre dos sensores, uno de los cuales se usa convencionalmente como sensor de temperatura, mientras que el otro se usa como calentador.
El sensor de temperatura monitorea los valores reales del proceso mientras el calentador se mantiene a una temperatura diferencial constante por encima de esta, variando la energía consumida por el sensor. Cuanto mayor sea la velocidad del gas, mayor será el efecto de enfriamiento y la energía requerida para mantener la temperatura diferencial.